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看廢氣處理專家--活性炭怎樣處理半導體生產產生的廢氣

發布時間:2019/4/11 16:57:22 瀏覽次數:1540

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隨著科技發展,半導體在國內的發展日漸明顯,半導體材料廣泛應用于制造電子,電器。也可以用來制作半導體器件和集成電路的電子材料。就像液晶電視制作,手機行業都屬于半導體行業。那么在生產制作這些半導體材料時會產生一些有害氣體,這些氣體屬于二次污染氣體,會對大氣污染造成一定的危害。
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     由于半導體工藝對操作室清潔度要求極高,通常使用風機抽取工藝過程中揮發的各類廢氣,因此半導體行業廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。廢氣排放也以揮發為主。半導體制造工藝中產生的廢氣如果沒有經過很好的處理進行排放,將造成嚴重的問題,不僅影響人們的身體健康,惡化大氣環境,造成環境污染的公害事件等,也會成為半導體制造中AMC污染的重要來源。
 
     在處理上采用水洗、氧化/燃燒、吸附、解離、冷凝等方法,通過研究,活性炭對這些有毒氣體的清除十分有效。半導體行業再生產材料過程中,車間會存留一定的有機氣體。這些氣體通過安裝廢氣處理設備,廢氣處理設備內裝有活性炭,就可以達到凈化排放標準?;钚蕴课椒ㄍ顿Y小、工藝簡單,易飽和,但是必須與脫附、冷凝、焚燒等方法聯用才能滿足排放要求。
 
     活性炭主要時通過氣相吸附凈化其中的有機廢氣,包括廢氣中所含有苯,甲苯,二氧化碳等有毒物質?;钚蕴坎捎脙炠|環保椰殼為上等原料,經系列生產工藝加工而成的一種椰殼活性炭。具有耐磨強度好、空隙發達、吸附性能高、強度高、易再生、經濟耐用等優點。
 
     活性炭廣泛用于有害氣體的凈化,廢氣處理,漆霧吸附等。對于化工、石化、煉焦、環保等行業的氣體處理及對SO2、氯苯、辛烷、乙胺、二甲基苯、環已烷、甲醚、嗅化氫、二氧化硫、二硫化硒碳、氯乙烯、甲醇、丙酮、氧化氮等工業有害氣體的凈化處理。

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